SITRI国内首条8英寸“超越摩尔”研发中试线通线成功

致力于“超越摩尔”产业发展的创新平台上海微技术工业研究院（SITRI，以下简称“工研院”）运营的8英寸“超越摩尔”研发中试线首款传感器产品近日获得验证通过，正式宣告研发中试线通线成功。

　　当前以智能传感终端、大数据、云计算、人工智能等为代表的信息技术正加速创新，万物互联智能化时代正在到来。其中“超越摩尔”技术以传感器为核心，结合射频、功率、微能源等技术，是未来实现万物互联的基础。纵观我国超越摩尔领域现状，虽经历多年的理论研究与技术验证，积累了大量宝贵的知识和经验，但在真正放进产品进行实际应用时往往存在与生产平台脱节的情况。这都是源于MEMS产品的研发所涉及的技术链条较长，且其“非标”特性使得它的研发与创新需要和产线有一段比较长的磨合期，不同于CMOS的标准工艺，可以说对产线“严重依赖”。而中试就是必经阶段，是目前国内传感器厂家共同面临的挑战，据统计，科技成果经过中试，产业化成功率可达80%，未经中试成功率仅有30%。基于此背景，工研院立足拥有国内一流集成电路研发和产业基础的上海，志在实施超越摩尔计划，争取在这一领域与国际领先水平并行。作为创新型功能平台，8英寸研发中试线落户嘉定，填补了国内这一领域的空白。

　　研发中试线专注于“超越摩尔”产品与技术，拥有近5000平方米的高等级微纳加工超净厂房，可以全面开展表面、体、3D微纳加工技术以及新工艺、新器件、新系统的研发和量产。研发中试线着重开展表面硅、体硅、3D微纳加工工艺的开发，并根据“超越摩尔”产品和技术特点部署MEMS、硅光子、射频、硅基III-V族、3D集成、MR磁、功率及生物等相关工艺和量测设备，提供全方位的产品研发、小批量生产、技术培训、设备验证等服务，为国内外客户提供优秀的全程服务。研发线的技术路线与设备选型参照了国内外主流代工厂的配置，提升了研发的成功率，有助于实现研发到量产无缝衔接。

　　“这次的通线成功标志着中国在MEMS及先进传感器的研发和产业化进入一个全新的快速发展的阶段。未来研发中试线将持续发力，在新材料、新工艺、新器件、新系统重点技术领域开展研发，进一步推动“超越摩尔”产业链的完善和物联网创新应用发展。”上海微技术工研院总裁杨潇表示。

　　以全球领先的8英寸“超越摩尔”研发中试线为支点，工研院将持续打造集研发、工程、市场、孵化的一体化功能平台，为创新企业及合作伙伴提供全方位的服务和解决方案，建设具有全球影响力的科技创新中心及“超越摩尔”产业群。

来源:集微网