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华力二期28纳米/月4万片生产线今天正式投产

出自:大半导体产业网

“909”升级、国家“910”工程落地项目——华力二期12英寸先进工艺生产线今天(10月18日)在上海浦东新区康桥工业区举行了正式投产大会。原国家政协副主席、华虹首任董事长胡启立和上海市长应勇,共同到场祝贺并按下产线启动按钮。

华力二期首条线规划月产能4万片,机台按量产28纳米、研发14纳米配置,其中10%的设备来自国内厂商,导入工艺为28-20-14纳米。从今年5月21日首台光刻机移入,到10月18日产线正式投片,再次改写了华虹速度,使华虹的芯片制造能力实现了从0.5微米到14纳米(研发)各工艺节点的全覆盖。

上海市副市长吴清在投产大会上表示,到2020年上海芯片设计业要进入7至5纳米节点,芯片制造要迈入10至7纳米工艺。华虹集团董事长张素心表示,公司目前28纳米工艺产品良率达到93-98%,2020年华虹将具备14纳米FinFET产品生产能力,基本上满足国内中高端芯片需求。
 

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