据ZDnet报道，三星宣布，已成功将EUV技术应用于DRAM的生产中。

三星已经出货了100万个使用EUV工艺制造的10nm级DDR4 DRAM模块，并得到了客户的评估。三星表示，评估工作完成后，将为明年大规模生产新的DRAM铺平道路。

三星在平泽工厂的EUV专用V2生产线将于下半年开始生产DRAM模块。该生产线预计将生产4代10nm级DDR5和LPDDR5。

这是平泽工厂除7nm逻辑芯片外又一使用EUV技术生产的芯片，三星称，EUV技术将使其单个12英寸晶圆的生产效率提升一倍。

三星、英特尔和台积电等全球半导体制造商预计都将扩大EUV技术在芯片生产中的应用。三星此前曾表示，计划利用EUV技术生产3nm芯片。