4月21日晚，北方华创公告，拟定增募资不超过85亿元，布局新技术并拓产扩能。其中，34.83亿元投向半导体装备产业化基地扩产项目（四期），24.14亿元投向高端半导体装备研发项目，7.34亿元投向高精密电子元器件产业化基地扩产项目（三期），18.68亿元补充流动资金。
公司表示，本次定增募资目的在于积极布局新技术，提升公司集成电路设备技术水平；应对未来市场需求的增加，进一步提升产业化能力；增强核心竞争力，进一步实现公司战略目标；发挥资本的作用，加速公司规模化发展的步伐。
公告显示，总投资31.36亿元的高端半导体装备研发项目，建设内容将包括改造研发实验室，购置研发用设备及软件，开展下一代高端半导体装备产品技术的研发，具体包括先进逻辑核心工艺设备、先进存储核心工艺设备、先进封装核心工艺设备、新兴半导体核心工艺设备、Mini/MicroLED核心工艺设备和先进光伏核心工艺设备等。
总投资38.16亿元的半导体装备产业化基地扩产项目（四期），其设计产能为年产集成电路设备500台、新兴半导体设备500台、LED设备300台、光伏设备700台的生产能力。北方华创表示，该项目建成后将成为公司最大的装备生产制造基地，与公司总部基地形成研发与生产、装备与核心零部件的双向协同，进一步提高生产规模和产品产能。同时，通过项目的实施，将加快半导体装备的产业化进程，极大转化高端半导体装备国产化研发成果，为公司带来直接经济收益。
北方华创表示，公司定位于高端电子工艺装备和精密电子元器件“两个产业平台”的主业布局，构建半导体装备、精密元器件和真空三个事业群，服务于半导体、新能源、新材料以及特种精密元器件等领域。在“十四五”期间，规划将坚持并进一步提升两大平台的创新能力和竞争能力。