三星电子与F&S Tech合作开发了可循环使用的抛光垫（CMP），后者被用于晶圆表面抛光，通常在使用后即被焚烧。
三星电子使其可循环使用的方法是：将CMP各部分进行拆分，对磨损部分进行修复并使其重新硬化到一定厚度，再重新组装使用。该公司表示，重复使用的CMP就像新的一样。
据BusinessKorea报道，自2021年初开始，F&S Tech应三星电子的要求，将可重复使用的CMP应用于实际的半导体生产线。
尽管到目前为止的供应量不大，但这已使得三星电子成为半导体行业第一家使用可循环CMP的公司。两家公司计划继续评估可循环CMP在半导体制造过程中的性能，并增加其使用。
数据显示，全球CMP市场估计为每年1万亿韩元（约合8.7亿美元）。报道指出，韩国严重依赖进口CMP，目前全国70%-80%的CMP是美国杜邦公司的产品。
