科创板半导体设备巨头中微公司披露了定增认购情况，总额82.1亿元的市价定增，大基金二期获配最多，达25亿元。本次定增募投的产业化基地建设项目，拟扩充和升级的产品类别为等离子体刻蚀设备、MOCVD设备、热化学CVD设备等。
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