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复旦大学半导体装备核心零部件产业化项目签约落户上海宝山区淞南镇

来源:大半导体产业网    2022-03-04
3月2日,上海宝山区淞南镇与上海市超精密运动控制与检测工程研究中心共同举行框架合作协议签约仪式。

淞南发布官微消息,3月2日,上海宝山区淞南镇与上海市超精密运动控制与检测工程研究中心共同举行框架合作协议签约仪式。

据介绍,晓峰教授领衔的复旦大学半导体装备核心零部件产业化项目是2021年宝山复旦科创中心首批落地的8个重大创新项目之一,依托上海市超精密运动控制与检测工程研究中心,聚焦于半导体装备及其它高端装备核心部件的技术研发、产业化。


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